纵波场激光纳米加工系统
 

设备名称:纵波场激光纳米加工系统
设备型号:定制
技术指标:最小孔径10nm, 最大深径比70:1
主要用途:超光学衍射极限纳米制造

中国科学院宁波材料技术与工程研究所激光极端制造研究中心

地址:浙江省宁波市镇海区庄市大道319号

邮编:315201